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      • 離子束沉積

        離子束沉積作為納米結構的基本組成單元，團簇或納米顆粒在納米科學中具有關鍵的地位。我們設計研制了兩套氣體聚集型團簇源：基于熱蒸發的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體聚集型團簇源。以團簇源為中心構成了團簇束流實驗和沉積系統。

        更新時間：2024-06-17
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      • 納米團簇束流沉積系統

        作為納米結構的基本組成單元，團簇或納米顆粒在納米科學中具有關鍵的地位。我們設計研制了兩套氣體聚集型團簇源：基于熱蒸發的氣體聚集團簇束流源和磁控等離子體聚集型團簇源。以團簇源為中心構成了團簇束流實驗和沉積系統。

        更新時間：2024-06-17
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