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產品簡介
緊湊型臺式光刻系統重新定義無掩模光刻技術LITHO MASKLESS 是一款緊湊型臺式光刻系統利用基于 UV LED 的 DLP 引擎實現無掩模圖案化。設計簡潔，精準它將微加工技術從潔凈室和任何研究或教育空間中帶出來。
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緊湊型臺式光刻系統
重新定義無掩模光刻技術
LITHO MASKLESS 是一款緊湊型臺式光刻系統利用基于 UV LED 的 DLP 引擎實現無掩模圖案化。設計簡潔，精準它將微加工技術從潔凈室和任何研究或教育空間中帶出來。
克服傳統掩模對準機的局限性：
-傳統的掩模對準器長期以來一直對半導體研究造成障礙
-設備笨重且昂貴
-操作程序復雜且僵化
-潔凈室基礎設施要求
-掩模制造的交付周期
-每個掩膜的成本很高 通常要幾百到幾千美元
可安裝顯微鏡的模塊：
可與傳統品牌顯微鏡配合使用，無需額外占用空間。
通過PLANCK軟件進行即時投影：
上傳圖片并在幾秒鐘內曝光。
無潔凈室操作：
直接在潔凈工作臺內使用。
無掩模工作流程：
消除光掩模制造時間和成本。
定制圖像圖案：
支持PNG、JPG和灰度模式，實現靈活的實驗設計。
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緊湊型臺式光刻系統
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