掃描熱學顯微鏡

掃描器

3x3x1um （ ± 10%）; 10x10x2um（ ± 10%）; 50x50x3 um （ ± 10%）

zui小掃描步長

0.0004 nm; 0.0011 nm; 0.006 nm

掃描類型

樣品掃描式

SPM頭部

AFM

STM:

30pA - 50nA, 4 p時的ARMS 噪音 （標準的前置放大器）,

10pA - 5nA, 1.5 p時的ARMS噪音 （低電流前置放大器）

剪切力

光學觀察系統

數值孔徑 0.1

放大倍數58x to 578x

水平視野 5,1~ 0,51mm

控制系統

SPM 控制箱

振動隔離系統

集成有被動隔離系統

如果需要也可用主動隔離系統

掃描熱學顯微鏡操作模式：

1.合理的操作模式：

a. 擴展電阻成像：這個模式在表征半導體的應用中非常有用，因為在該模式下，我們可以利用W2C 或TiO涂層的硅懸臂來測得樣品上某一點的導電率，然后和該點的表明形貌進行比較。

b.  粘附力模式：在掃描過程中，可以同時得到力－距離曲線和力的值。

c.  剪切力模式：可以用來實現SNOW系統。

d. SKM對半導體表面成分分析十分有用。

e. RM和電壓刻蝕：利用這兩個模式可以在納米尺度實現機械和電壓表面修飾。

2.集成測量頭

在一次掃描過程中，可以同時得到4種不同的信息。

掃描器

NT-MDT提供一套用于校正的標準光柵（6片），用其進行掃描器的校正和針尖質量的控制。。

樣品大小

大樣品也可以進行測量。

光學觀測系統

多樣的光學觀測系統配置可以*客戶的需求。

針尖與樣品的驅近

1. 驅近系統的機械設計可使得經過幾次驅近之后仍然能獲得相同的檢測區域。掃描位移大約為500nm，這個特點可以讓您在幾周內仍然能夠研究相同的樣品區域。

2. 在完成驅近之后，可以對所要檢測的區域進行自動掃描，因此實驗人員只需很短的時間便可以在SPM上獲得檢測結果。

3. 允許手動驅近。

電子學

每個軸（X,Y和Z）通過2個16位DAC來實現22位的掃描精度，再加上極低的系統噪音，所以Solver使用50mm的掃描器也能實現原子級分辨率。

計算機

我們的顯微鏡可以在任何兼容計算機機上進行操作。如果您不想購買額外的計算機，那么您還可以將這臺用于SPM的計算機用于其他用途。

軟件

多樣的圖像處理方法；

圖像處理軟件可以在網站免費下載；

可以處理DI,PSI, Topometrix和其他SPM廠家的數據文件樣本；

可以根據用戶需要來定制軟件。

隔震系統

在通常的實驗室中，不需要增加額外的隔震系統（在通常的實驗室環境下就可以得到原子級圖像）。

其他優點

鈦合金結構和*的SPM測量系統設計提供了zui低的熱漂移，讓您可以打開系統之后馬上就可以開始測量了。

在這方面，NT-MDT盡全力滿足客戶的期望。